我院教师代表参加“集智创‘芯’”论坛：走进光刻机_学院动态

5月19日，在重庆邮电大学第三国际会议厅，来自寰海科技股份有限公司（台湾）的高级工程师庄益祯带来了一场名为“集智创芯论坛：走进光刻机”的学术报告，来自重庆邮电大学的近百名师生聆听了该学术报告，我院教师代表李杨参会。

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报告聚焦于光刻机的发展历程，深入剖析其种类与技术演变，从早期的接触式光刻机，到今天的由均匀光模块及掩膜对准系统、镜头组自动调焦平系统等关键部件构成的先进光刻机。报告还着重探讨了黄光工艺，强调欲实现优质黄光工艺，不仅对光刻机本身性能要求极高，对黄光设备的涂布烘烤和显影工艺把控亦十分严苛，此外，报告还提供光刻机选择的思路与方法，指出需依据不同线宽要求，匹配不同解析能力的光刻机。

此次学术报告对我们深入了解光刻机领域的关键知识与前沿动态提供了良好的学习机会。

我院教师代表参加“集智创‘芯’”论坛：走进光刻机

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